기술 서비스 제품

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)

MEMS는 실리콘 웨이퍼와 같은 지지 기판 상에 미크론 수준의 3차원 구조를 형성하고 전자 회로, 센서 및 액추에이터와 같은 기능을 통합하는 일반적인 용어입니다. 반도체와 마찬가지로 이 기술은 자동차, 스마트폰, 잉크젯 프린터 헤드, 광학 스캐너 등 다양한 제품에 적용됩니다. 다양한 분야에 적용되고 있기 때문에 국내외에서 수요가 높고, 차세대 제조업을 이끌어 갈 기술로서 주목받고 있는 기술 중 하나입니다.

마리알로 MEMS 기술 서비스

마리알로는 접합 기판의 표면 거칠기 및 세정, 접합 웨이퍼의 박형화 (Thinning) 및 TTV 개선, 미세 가공 기판의 이면을 연마하여 두께 관리를 통해 MEMS 분야의 문제를 해결할 수 있습니다. 또한 다양한 소재의 연마, 표면 거칠기 개선, 박형 기술, 세정 기술을 제공합니다.