APRE
レーザ干渉計システム
特徴
- スティッチ(Stitching) システム
- 自動ソフト、花崗岩特殊構造、エンクロージャー
- 4MPw/SCI(400万)画像、裏面反射ノイズなし
- 表面精密度 PV λ/20
測定範囲
φ150mm(６インチ)
超高精度光学技術で、
半導体装置部品ポリシングをさらなる高みへ
様々な素材の表面を鏡面、または粗面化するポリシングサービスを提供します。
新技術サービス
グローバル最先端の平面度測定機
最先端干渉計及び干渉計連動CNCポリシング機サービスを、リーズナブルな価格でお客様の開発にサポート致します。2つのタイプに分類されます。
SCI スペクトル制御干渉とは
裏面反射ノイズを抑え、特定面に焦点を合わせることで、正確な干渉測定が可能。
尚、透明、不透明素材も測定が可能。
特徴
- 不要な裏面反射を除去
- 簡単且つ迅速なアラインメント
- 高速測定及び耐振動
測定エリア四角
1000mm(26年12月末稼働)
レーザ干渉計連動CNCポリシング装置 平面も非球面も7軸で自由に
高度な自動制御と多彩な加工モードにより、極限の超高精度加工を追求した次世代CNCポリシングソリューション。
7軸CNCポリシング
様々な仕様に合わせて、ツールを切替えながら最適処理を行います。
- スパイラル
- ラスター
- フリーフォーム
特殊安定構造、自動凸部除去システム
- サブミクロン 表面加工
- 安定構造による 品質及び繰り返し精度
- APRE干渉計の データ連動
