6インチ(150㎜)用レーザ干渉計。λ／20精度の非接触測定、振動及び環境ノイズに強く、データ取得も可能。
面精度(PV, RMS)や平坦度(Flatness)をナノ〜サブナノレベルの超高精度・非接触測定、標準口径(4インチ)による高い汎用性、独自の解析ソフトウェアによる迅速なデータ化
12インチ 約300mm大口径の超精密・非接触表面形状測定器。
超高精度面を要するZYGO及びAPREレーザ干渉計用マスター
非接触で「ナノレベルの3D表面形状計測」と「光学顕微鏡並みの高解像度観察」 非接触での超高精度3D形状・表面粗さ測定、 高倍率観察と深焦点画像の一括取得
塗膜・めっき・ライニングなどの膜厚（塗膜厚さ）測定において、世界的に高い評価と実績を持つポータブル型膜厚測定器非破壊での高精度・迅速測定。
X線を利用して素地上のめっきや薄膜の厚み、および元素組成を非破壊で測定する非接触で高精度な膜厚測定器。多層膜および合金めっきの同時測定、 微小エリア（極小スポット）の測定に対応。
膜厚測定および材料分析の分野で世界最高峰の精度と信頼性を誇る超高精度膜厚測定器。 電磁式・渦電流式・蛍光X線など多様な測定原理を網羅し、サブナノレベルの超薄膜から多層膜まで極めて高い再現性で測定。
