分野別・素材別
・特殊ポリシング

分野別ポリシング

精密加工によって製造された製品は、多様な産業分野で活用されています。
主な対応分野は以下の通りです。

半導体装置用部品
MEMS分野
医療機器
自動車
光学
航空宇宙
サブミクロンポリシング
電子機器 / 電子部品

マリアロのポリシング技術精密研磨

マリアロが提供する精密ポリシング（研磨）およびラッピング加工では、ワーク（加工物）と定盤をそれぞれ回転させて加工を行います。
仕上げ工程に進むにつれ、研磨剤（スラリー）は微細な研磨粒子へと変化します。

当社のナノレベルの精密研磨技術は、表面粗さ、平行度、平坦度、寸法精度などのあらゆる側面において、お客様より信頼を頂いています。

MEMS Micro Electro Mechanical Systems

MEMSとは、シリコンウェーハなどの支持基板上にミクロンレベルの三次元構造を形成し、
電子回路、センサー、アクチュエータなどの機能を集積したデバイスの総称です。

半導体技術を応用したMEMSは、自動車、スマートフォン、インクジェットプリンターヘッド、
光学スキャナーなど、幅広い製品に採用されています。
さまざまな分野で活用されていることから、国内外で高い需要があり、次世代ものづくりを支える重要な技術として注目されています。

MARYALO MEMS技術サービス

MARYALOでは、MEMSデバイス製造における様々な課題に対応しています。

接合基板の表面粗さ改善および洗浄、接合ウェーハの薄化(Thinning)とTTV(Total Thickness Variation)の改善、さらに微細加工基板の裏面研磨による厚み管理などを通じて、MEMS分野における高精度加工ソリューションを提供しています。

また、多様な材料に対する研磨技術、表面粗さ制御技術、薄化技術によりお客様の要求仕様に応じた最適な加工サービスをご提供いたします。

自動車部品の特徴

自動車を構成する部品には、エンジン関連部品からヘッドランプ関連部品まで、多種多様な部品が使用されています。
これらの部品には、高い性能と信頼性が求められるため、研磨、切断、研削、表面処理などの高精度加工技術が不可欠です。近年では、自動車の高性能化・電動化の進展に伴い、部品に対する精度要求もますます高まっています。

MARYALO 自動車関連技術サービス

MARYALOでは、金属、セラミックス、樹脂、ガラス、半導体材料など、さまざまな素材に対応した超精密ポリシング技術を提供しています。素材の種類を問わず、お客様の要求仕様に応じた高精度加工を実現し、自動車関連部品の品質向上に貢献しています。
特に、ヘッドランプ用PIG(Phosphors in Glass)の精密ポリシングにおいて豊富な実績を有しており、表面粗さ、TTV(Total Thickness Variation)など、お客様が求める厳しい品質基準に対応した製品を提供しています。
また、長年培ったラッピング・ポリシング技術により、高品質かつ安定した加工サービスを実現しています。

半導体製造装置部品のポリシング
半導体製造装置部品における精密加工

半導体製造装置に使われる部品は、高い精度及び耐久性が求められます。そのため、半導体製造装置の部品も、高い加工精度が必要とされています。
これらの部品は、チャンバー、ウェーハ搬送アーム、シリンダーなど、半導体製造工程の中で核心部品として採用されています。また、半導体製造装置向け部品には高い耐摩耗性・耐食性・耐熱性が要求されるため、ステンレスやアルミニウムに加え、チタン、インコネル（ニッケル基合金）、セラミックスなどの難削材も多く採用されています。当社はこれらの素材にも幅広く対応しています。

MARYALO 半導体製造装置向け技術サービス

MARYALOは、精密ラッピングおよびポリシング技術を活用し、表面粗さ、平坦度、平行度、寸法精度、角度精度など、数多くの要求品質を高いレベルで実現しています。
長年培ってきた超精密加工技術と豊富な加工ノウハウにより、複雑な形状を有する部品においても高精度な加工を行い、半導体製造装置に求められる厳しい品質基準に対応しています。また、金属材料、セラミックス材料、難削材など幅広く対応しており、お客様の仕様に応じた最適な加工ソリューションを提供いたします。
半導体製造装置部品の精密加工、平面研磨、鏡面加工、超精密ポリシングに関するご要望や技術課題がございましたら、ぜひMARYALOへご相談ください。

サブミクロンポリシング Nanotechnology

ナノテクノロジーについてナノテクノロジーとは、1mmの1/1000である1μm(マイクロメートル)から、さらにその1/1000にあたる「nm(ナノメートル)」単位での制御・加工を行う技術です。肉眼では確認できない超微細な領域を扱うため、従来の精密加工よりも遥かに高度な精度が求められ、一般的に「超」精密加工とも呼ばれます。
主な応用分野としては、ナノインプリントの金型部品やナノ製造装置のコンポーネントをはじめ、高性能ディスプレイ、エレクトロニクス、医療機器に使用される微細・高機能部品などが挙げられます。

マリアロのナノテクノロジーサービス

ナノテクノロジーが最も活発に応用されている分野の一つが「光学分野」です。マリアロ(Marialo)では、カメラや各種センサーに使用される高精度レンズの表面処理(ポリシング)および形状加工において、最先端の技術サポートを提供いたします。

分野別・素材別・特殊ポリシング